简介
(一)技术的创新性 (1)发明了液封高温高压液相合成-氢化脱氧的组合技术,解决了高纯碲化镉、硒化镉等产品组分不均匀、氧含量高的问题;(2)发明了多相复合烧结-真空双向补压热压-背板(背管)磁感应温度梯度绑定的靶材生产技术,实现碲锌镉靶材内部受力均匀性和无裂纹靶材的制备;(3)发明了气雾化制粉-冷喷涂技术,实现了大尺寸、组分均匀的高纯铜铟镓、铜镓旋转靶材的规模化生产;(4)发明了低温喷涂技术,解决了铟、铟锡金属靶材晶粒尺寸不均匀、偏析等难题;(5)发明了气雾化-固相扩散反应-热等静压技术,解决了高纯铜铟镓硒四元化合物组分偏析问题。
(二)技术的先进性 (1)5N高纯碲化镉、硒化镉等产品一次合格率98%以上,综合回收率99%,粒度分布可控,碳、氧、氮杂质小于100ppm;(2)5N碲锌镉、碲化锌、硫化镉等靶材产品,成品率90%以上,相对密度95%以上;靶材绑定粘结率大于97%;(3)5~6N铜铟镓硒基系列多元合金产品,粉体产品球型度高,流动性好;5~6N靶材产品致密度98%以上,晶粒尺寸小于60μm。