集成电路（CMOS）工艺兼容的硅基光热电薄膜系统集成

应用领域：Электронная информация

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国家/地区

中国

行业领域

Электронная информация

简介

此次申报的项目就属于新型硅基光子器件及光电集成，在国内尚属空白，主要产品为硅基光电收发器，是硅基光互联技术的关键器件，已申请了两项美国专利，包括CMOS兼容的基于新型微谐振腔的正交幅度调制器和主动式光隔离器。这些器件充分利用成熟的CMOS技术在单一硅基片上制作新型集成光学微纳结构，实现亚微米量级的刻蚀技术，解决光子器件与CMOS工艺的兼容性，所制备的器件具有体积小，效率高，能耗低，成本低，易集成和易于批量生产等优势。初期产品主要用于光纤入户用光猫；长远来看，公司的高端产品将致力于光通信，光互连和大数据

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