半导体工业有害废气-全氟化合物分解反应催化剂的研制与开发

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简介

成果简介：四氟化碳、三氟化氮是半导体工业排放废气中的主要污染物，是《京都议定书》和2008年联合国环境大会限制排放的重要温室气体。本项目研制的改性氧化铝催化剂可在温和条件下将四氟化碳、三氟化氮完全分解，催化剂寿命长、成本低、实用性强，有关催化剂用于分解半导体工业排放的全氟化合物废气，有利于保护生态环境，具有显著的经济效益和社会效益。推广应用范围、条件和前景：半导体工业排放的废气中含有1-2%浓度的四氟化碳、三氟化氮等气体，本项目研制的催化剂可用于分解这类污染物。从四氟化碳、三氟化氮的全分解温度和能耗考虑，催化水解法是分解四氟化碳的实用方法，而无水条件下的直接分解法应是消除三氟化氮的首选方法。

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