面向新型标准光组件的自动化工艺生产线开发应用

应用领域：Электронная информация

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国家/地区

中国

行业领域

Электронная информация

简介

1）首次提出一种对ZnO基氧化物材料的具有高度可控性的蚀刻液和配套蚀刻工艺，该方法可广泛的用于制备精细电子部件中氧化物材料的刻蚀；2）首次开发了基于新型蚀刻材料和工艺的自动化刻蚀设备；3）结合氧化物材料的MOCVD生长设备设计和新型微加工蚀刻工艺的开发成果，研发国际首条适用于ZnO基透明氧化物材料，从材料生长到器件制备的完整的芯片自动化生产线；4）开发的自动化生产线极大的简化了工序和人为干预，并为探索和实践LED芯片制造发展到无人值守全自动化整线最终阶段奠定基础。

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